日前，在上海市举行的2025年“世界标准日”主题活动中，新一批12项“上海标准”正式发布。在长宁区市场监管局的指导和推荐下，由中国科学院上海硅酸盐研究所主导制定，上海市硅酸盐学会发布的团体标准《i-线光刻级氟化钙晶体元件》成功入选。

氟化钙（CaF2）晶体是紫外光刻、高分辨空间相机、高精密光学检测设备等高端仪器装备的核心元件。上海硅酸盐所致力于实现i-line光刻级氟化钙晶体材料的国产替代，其《聚焦新材料“卡脖子”难题 促进半导体成套专利产业化》获评“2024年上海市专利转化运用十大典型案例”；牵头相关企业、学会共同制订的《i线光刻级氟化钙晶体元件》团体标准，先后荣获2024年度上海市团体标准典型案例“十佳案例”、2025年“上海标准”。

该标准致力于推动科技成果向实际应用转化，系统地规定了i线光刻级氟化钙晶体元件术语定义、技术要求、检验方法等关键内容。标准实施效果显著，有效填补了该领域的标准空白，已被成功应用于i线光刻、空间光学、半导体量测、紫外激光器等高端装备领域。产品合格率从40%大幅提升至95%以上，年产量从20吨扩大至50吨。

此项标准的制定和推广，标志着我国在高端半导体关键材料领域的标准制定与应用达到国际先进水平，成功化解了高端半导体设备关键光学材料的“卡脖子”难题。对打破国外技术垄断、实现关键材料的国产替代、引领国内高端制造用关键材料行业发展具有重要的战略意义，为半导体产业的高质量发展提供了坚实支撑。

长宁区市场监管局持续推进各行业领域标准化建设，已有五个标准获评“上海标准”。接下来，将以此次入选为契机，总结并推广标杆的先进经验，加大政策支持力度，持续引导和扶持区内更多科研机构、社会组织和企业参与高质量标准制定，以先进标准引领产业创新，赋能长宁区域经济持续高质量发展。

图片来源于长宁区市场监管局

撰稿：毛奕云

编辑：竺嘉茹

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